X선 분석 시스템의 글로벌 솔루션 파트너이자 리가쿠 홀딩스(Rigaku Holdings Corporation)(본사: 도쿄도 아키시마; CEO: 준 카와카미(Jun Kawakami))의 그룹사인 리가쿠(Rigaku Corporation)가 반도체 제조 공정의 효율성을 극대화하기 위한 전반사 X선 분석 시스템 ‘XHEMIS TX-3000’의 판매를 시작한다고 발표했다. XHEMIS TX-3000은 웨이퍼 표면의 미량 오염 분석을 통해 반도체 제조사의 공정 안정성을 높이고 생산 효율성을 향상시키는 데 기여할 것으로 기대된다.
리카구(Rigaku Corporation)는 지난 30년간 반도체 산업에 혁신적인 X선 분석 시스템을 제공하며 기술적 리더십을 확립해 왔다. 특히, 반도체 웨이퍼 표면에 존재하는 미량 원소 오염은 공정 불량의 주요 원인이 될 수 있으며, 이를 사전에 감지하고 해결하는 것은 생산 효율성 향상에 필수적이다. 이에 리가쿠는 웨이퍼 표면의 정확하고 신속한 미량 원소 분석을 위한 XHEMIS TX-3000 시스템을 개발했다.
XHEMIS TX-3000은 최첨단 전반사 X선 회절법(XRD) 기술을 기반으로 웨이퍼 표면의 미량 원소 조성 및 분배 상황을 실시간으로 분석한다. 이 시스템은 특히 반도체 제조 공정 중 발생할 수 있는 불순물로 인한 결함을 사전에 예측하고 방지하는데 활용될 수 있다. 또한, 다양한 원소 분석 기능을 통해 웨이퍼 표면의 열처리, 에칭, 증착 등 다양한 공정 조건을 최적화할 수 있는 핵심 정보를 제공한다.
리카구 홀딩스(Rigaku Holdings Corporation)는 XHEMIS TX-3000의 출시를 통해 반도체 산업의 디지털 전환을 지원하고, 고객의 혁신적인 제품 개발을 돕는 데 기여할 것이라고 밝혔다. 준 카와카미(Jun Kawakami) CEO는 “XHEMIS TX-3000은 반도체 산업의 미래를 위한 핵심 기술이며, 고객과의 긴밀한 협력을 통해 더욱 발전시켜 나갈 것”이라고 말했다.
리카구(Rigaku Corporation)는 XHEMIS TX-3000 시스템의 정확하고 신뢰성 있는 데이터를 바탕으로 고객의 연구 개발 활동을 지원하며, 반도체 산업의 기술 발전에 앞장설 계획이다. 시스템 도입 문의는 리가쿠(Rigaku Corporation) 고객 지원 센터를 통해 가능하다. 기술적인 문의는 담당 엔지니어에게 문의하면 상세한 설명과 함께 맞춤형 솔루션을 제공할 예정이다. 시스템의 성능 및 활용 사례는 리가쿠(Rigaku Corporation)의 공식 웹사이트를 통해 확인할 수 있다.
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